2026-04-09
2026年3月24日,国投(雄安)先进电子制造产业创新有限公司承担的雄安新区科技创新专项“精密环境微振动模拟台关键技术研究及应用示范”项目启动会暨实施方案论证会在京顺利召开。项目组邀请中国科学院微电子研究所、北京建筑大学、北京交通大学、中国建筑科学研究院、中国计量科学研究院、北京中诺成会计师事务所等有关专家对实施方案进行了评审。专家组同意通过项目实施方案评审,建议按照实施方案组织实施。
该项目面向空天信息领域卫星载荷及半导体领域精密设备对微振动模拟台的需求,研究微振动模拟台总体架构;形成基于外部振动干扰及控制目标的微振动模拟台设计方法,研发低频高承载力空气弹簧、高性能音圈电机及控制器、高精度控制器等关键硬件,形成微振动模拟台低频高承载隔振硬件和高精度激振硬件;研究微振动模拟台系统辨识与协同控制技术,形成微振动模拟台控制算法理论;最终研制低幅值、高带宽的大型高端微振动模拟台,同时构建微振动模拟台试验标准体系,建立覆盖“环境干扰-产品响应-设备性能”的三维测试评价方法,并在空天信息和电子信息领域开展示范应用,为国产精密设备研发与运行过程中的微振动环境控制需求提供专用模拟平台和技术支撑。
项目参与单位包括中国电子工程设计院股份有限公司、复旦大学、长光卫星技术股份有限公司、东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司等高等院校、空天信息和半导体领域设备厂商。牵头单位国投(雄安)创新公司代表项目组汇报了项目实施方案,各位专家从项目逻辑性、实施方案可行性、研究内容聚焦性、研究成果创新性、示范项目代表性、经费使用的合规性等方面提出了意见和建议,为项目的顺利实施提供了指导。
