2024年12月30日，中国电子院首次承担的国家重点研发计划“国家质量基础设施体系”重点专项“电子制程环境质量精准控制测评技术及标准研究” 2024年度工作推进会在京顺利召开。项目组邀请中国科学院微电子研究所、住房和城乡建设部标准定额研究所、中国建筑科学研究院等有关专家对实施方案进行了评审。专家组同意通过项目实施方案评审，建议按照实施方案组织实施。

        本项目联合机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、中国计量科学研究院、天津大学、京东方环境能源科技有限公司、长鑫集电（北京）存储技术有限公司等科研院所、高等院校、电子制程龙头企业组成强大的科研团队，针对高端电子制程超大洁净空间超精密生产环境中空气化学污染物、痕量物质和微振动等检测、计量及相应标准仍不完善，检测和监测水平相对较低等问题，以超低浓度空气化学污染物、气体管路痕量物质和纳米级微振动的检测监测和计量为对象，研究高端电子制程“环境－质效”关系耦合模型，形成高端电子制程环境质量测评指标体系，研发超低浓度空气化学污染、气体管路痕量物质与纳米级微振动等关键环境指标检测方法及计量技术，研制高灵敏度、多参数的检测和监测装置，提高环境检测监测精度，形成“计量-标准-检验检测”解决方案并在集成电路、平板显示等领域开展示范应用，系统解决我国电子制程领域的环境质量控制和评测问题。

        工作推进会上，中国电子院汇报了项目实施方案，四个课题负责人分别汇报了课题实施方案。各位专家从课题逻辑性、实施方案可行性、研究内容聚焦性、研究成果创新性、示范项目代表性、经费使用的合规性等方面提出了意见和建议，为项目的顺利实施提供了指导。