近日，由中国电子工程设计院股份有限公司牵头，联合中国科学院力学研究所、中建研科技股份有限公司等承担的国家重点研发计划   “国家质量基础设施体系”重点专项青年项目“高端电子制程微振动环境振源识别机理研究” 2024年度工作推进会在京顺利召开。项目组邀请主管单位、推荐单位等有关专家对实施方案进行评审，专家组同意通过实施方案论证。

        高端制程电子产品国际封锁形式严峻，而国产高精密电子制造良率与制程遇到卡点。高端电子制程所有核心环节均在高精密微振动环境中完成，微振动环境控制的精准性是保障电子制程生产运行的关键因素之一。由于微振动环境振源存在强耦合、难分离、难辨识的问题，给微振动精准测评和控制带来极大的困难，因此亟需研究电子制程微振动环境的振源识别技术，为微振动精准测评和控制提供技术支撑。

        本项目聚焦高端电子制程微振动环境的振源识别技术，开展多耦合振源复合响应特征解析研究，对厂房内、外部振源开展识别研究，解决复杂微振动振源辨识问题。

        中国电子院振动技术研究中心、科技管理部门等相关人员参会。