近日，由我院世源科技工程有限公司自主研制开发的化学过滤器机组获得“北京市新技术新产品”认证证书。
　　随着智能显示终端市场的崛起，采用“低温多晶硅薄膜晶体管”技术的显示器件需求逐渐升温，低温多晶硅薄膜晶体管的制造工艺属于新型半导体显示器件的工艺，其生产过程中对于环境中的分子级污染（即化学气体污染）有较为严格的要求，必须对于空气中的化学气体污染物的浓度进行控制。为解决这一难题，世源科技公司设立了专门的科研课题，研制开发出适用于LTPS工厂使用的化学过滤器机组。经过项目团队技术攻关，国内首台商用化学过滤机组顺利通过各项性能指标测试，具备了批量生产条件。在研发过程中，共申请发明专利4项，实用新型专利23项。目前已获得知识产权局授权专利20项。
　　2015年12月，“化学过滤器机组”获得北京市科委、北京市发改委、经信委、住建委、市质监局和中关村管委会联合组织的“北京市新技术新产品”认定。